本發(fā)明提供一種晶圓檢測(cè)裝置及檢測(cè)方法,所述檢測(cè)裝置包括脈沖激光器、第一分束器、第二分束器、光學(xué)延遲線、光電探測(cè)器、可編程延遲電路、控制器、調(diào)束光路、空間光調(diào)制器、非線性晶體、固定夾具、聚焦光路和太赫茲探測(cè)器。本發(fā)明不設(shè)機(jī)械掃描裝置,待測(cè)晶圓無需進(jìn)行移動(dòng)掃描,同時(shí)利用電控的空間光調(diào)制器進(jìn)行哈達(dá)瑪矩陣的切換,可提高切換速度,并有效提高晶圓無損檢測(cè)的速度和精度。
聲明:
“晶圓檢測(cè)裝置及檢測(cè)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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