本實用新型涉及一種微波芯片檢測裝置，屬于芯片測試技術(shù)領(lǐng)域，解決微波芯片的無損檢測問題，裝置包括測試裝具(2)、控制單元(3)、輸入端口(4)、輸出端口(5)；測試裝具(2)，用于無損安裝待測微波芯片；控制單元(3)、輸入端口(4)、輸出端口(5)分別通過測試裝具(2)與待測微波芯片的控制端口、微波輸入端口和微波輸出端口連接；輸入端口(4)外接微波信號源(9)，用于為待測微波芯片提供信號源；輸出端口(5)外接頻譜分析儀(10)，用于檢測待測微波芯片的輸出信號；控制單元(3)，用于產(chǎn)生控制信號，控制待測微波芯片輸出信號的參數(shù)。本實用新型制造成本低、結(jié)構(gòu)簡單；測試過程簡單、便捷，適用于批量測試。