一種檢測復(fù)合材料缺陷的裝置及方法,它包括同面多電極電容傳感器(1)、屏蔽層(2)、信號發(fā)生裝置(3)、數(shù)字信號處理系統(tǒng)(4)和平面板(5),所述的同面多電極電容傳感器(1)均勻分布在平面板(5)上,屏蔽層(2)放在平面板(5)的下面,信號發(fā)生裝置(3)的激勵(lì)信號輸出端與同面多電極電容傳感器(1)的其中任一電極相連,數(shù)字信號處理系統(tǒng)(4)用于測量該電極與其余電極之間的響應(yīng)。本發(fā)明的檢測方法能適應(yīng)于較薄的平面材料的缺陷檢測;結(jié)構(gòu)簡單,靈敏度高,應(yīng)用范圍廣、可以實(shí)現(xiàn)無損探測且對人體無損害。