本發(fā)明涉及碳化硅內(nèi)部損傷的無損檢測，公開了一種基于拉曼殘余應(yīng)力檢測的碳化硅內(nèi)部微裂紋深度定位方法。該方法包括一種基于共聚焦拉曼光譜檢測微裂紋邊緣殘余應(yīng)力的方法和一種殘余應(yīng)力定位碳化硅內(nèi)部微裂紋深度的方法。微裂紋邊緣殘余應(yīng)力檢測的方法包括：微裂紋邊緣外拉曼信號的測量；對拉曼信號采集點按特定水平距離排列；雙軸應(yīng)力方式計算殘余應(yīng)力。殘余應(yīng)力定位微裂紋深度的方法包括以下步驟：建立采集點列方向上殘余應(yīng)力隨深度分布曲線圖；將不同分布曲線上殘余應(yīng)力最大值所在深度連線；延長連線6μm，連線盡頭就是微裂紋所在深度。本發(fā)明所設(shè)計方法檢測范圍小，在無損檢測碳化硅內(nèi)部微裂紋深度的目標(biāo)下，提高了檢測的效率和準(zhǔn)確性。