本發(fā)明公開(kāi)了一種大口徑光學(xué)元件光學(xué)特性的快速檢測(cè)方法及裝置,首先將泵浦光束照射到被測(cè)樣品表面上的測(cè)量點(diǎn)1,由測(cè)量點(diǎn)1反射出來(lái)的泵浦光經(jīng)能量回收反射鏡后再次照射到樣品表面上的測(cè)量點(diǎn)2,以此類推,泵浦光經(jīng)能量回收反射鏡后多次與被測(cè)樣品表面相互作用,在被測(cè)樣品表面的測(cè)量點(diǎn)1到測(cè)量點(diǎn)N都引起了局部材料特性變化。這N個(gè)測(cè)量點(diǎn)的局部材料特性變化由探測(cè)光束進(jìn)行并行探測(cè)。本發(fā)明利用泵浦光能量回收反射鏡對(duì)被測(cè)樣品反射出來(lái)的激光能量進(jìn)行回收重復(fù)利用從而大幅度提高大口徑光學(xué)元件光學(xué)特性檢測(cè)速度,該方法和裝置可以用于光熱無(wú)損檢測(cè)、光熱精密測(cè)量、光學(xué)吸收光譜、光熱成像與缺陷分析等多個(gè)領(lǐng)域,特別適用于對(duì)大口徑激光反射鏡微弱吸收特性的快速檢測(cè)與成像。
聲明:
“大口徑光學(xué)元件光學(xué)特性的快速檢測(cè)方法及裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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