本發(fā)明公開(kāi)了一種單透鏡型自動(dòng)檢測(cè)晶片基底二維形貌和溫度的裝置,屬于
半導(dǎo)體材料無(wú)損檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域。該單透鏡型自動(dòng)檢測(cè)晶片基底二維形貌和溫度的裝置在光束入射至晶片基底之前,將透鏡設(shè)置于分光平片之后,而在形成第二種反射光束之后,將透鏡設(shè)置于分光平片之前,這樣,只需要應(yīng)用一個(gè)透鏡即可,無(wú)需選用兩個(gè)透鏡,或者,在選用激光器和探測(cè)器時(shí),無(wú)需它們自身集成有透鏡,使得檢測(cè)晶片基底二維形貌的裝置的成本降低。
聲明:
“單透鏡型自動(dòng)檢測(cè)晶片基底二維形貌和溫度的裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)