本發(fā)明公開了一種電容短路失效的定位檢測方法,包括:獲取失效電容的初始電阻;對失效電容進行無損檢測并判斷是否存在缺陷;若存在則存儲檢測圖像并記錄缺陷的形態(tài)和位置;制備失效電容的金相樣品;對金相樣品進行磨拋并定時觀察剖面狀態(tài),判斷剖面中是否存在與檢測圖像對應(yīng)的缺陷;若是則停止磨拋,否則繼續(xù)磨拋直到找到與檢測圖像對應(yīng)的缺陷;獲取金相樣品的結(jié)果阻值,判斷阻值變化率是否超過預(yù)設(shè)的變化率閾值,若超過預(yù)設(shè)的變化率閾值,則此處缺陷為引起電容失效的缺陷;若沒有超過預(yù)設(shè)的變化率閾值,則返回磨拋過程繼續(xù)磨拋,直到找到引起電容失效的缺陷。所述電容短路失效的定位檢測方法能夠提高電容失效定位檢測的效率和準(zhǔn)確性。
聲明:
“電容短路失效的定位檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)