本發(fā)明涉及一種低輻射鍍膜玻璃的光學(xué)參數(shù)檢測(cè)方法，該低輻射鍍膜玻璃為SnO2:F/SiCxOy，0＜x＜1，1＜y＜4，屬于鍍膜玻璃檢測(cè)領(lǐng)域。該方法是在獲得SnO2:F/SiCxOy節(jié)能鍍膜玻璃橢圓偏振光譜的基礎(chǔ)之上，引入五層膜層結(jié)構(gòu)以及光學(xué)色散方程，通過(guò)迭代來(lái)回歸實(shí)測(cè)橢偏光譜，最終獲得SnO2:F/SiCxOy鍍膜玻璃的膜層結(jié)構(gòu)及其每一層的光學(xué)參數(shù)，利用該方法實(shí)現(xiàn)鍍膜玻璃光學(xué)性能的在線實(shí)時(shí)監(jiān)控。本發(fā)明僅采用光學(xué)測(cè)試手段來(lái)獲得準(zhǔn)確的膜層結(jié)構(gòu)及光學(xué)參數(shù)，對(duì)樣品無(wú)損傷、測(cè)量耗時(shí)少、測(cè)試方法簡(jiǎn)便，對(duì)被測(cè)樣品表面無(wú)特殊要求，十分適合于SnO2:F/SiCxOy節(jié)能鍍膜玻璃的性能檢測(cè)。