本發(fā)明公開了一種用于光學(xué)元件表面熒光特性顆粒檢測的裝置及方法,包括:紫外熒光成像系統(tǒng),其連接有控制電腦;運動機構(gòu),紫外熒光成像系統(tǒng)設(shè)置在運動機構(gòu)上;將紫外熒光成像系統(tǒng)固定于運動機構(gòu)上,將光學(xué)元件放置于底座內(nèi);通過運動機構(gòu)的支架調(diào)整紫外熒光成像系統(tǒng)與光學(xué)元件的距離,使其成像最清晰;控制電腦控制紫外熒光成像系統(tǒng),使用CCD相機拍照并
分析檢測結(jié)果;通過運動機構(gòu)的縱向?qū)к?、橫向?qū)к壓拓Q直導(dǎo)軌移動紫外熒光成像系統(tǒng),并重復(fù)進行拍照分析,完成對光學(xué)元件的抽樣檢測。本發(fā)明可根據(jù)成像鏡頭的工作距離,通過運動機構(gòu)調(diào)節(jié)紫外熒光成像系統(tǒng)與光學(xué)元件之間的距離。本發(fā)明檢測方法為無損檢測,與光學(xué)元件無接觸,無二次污染產(chǎn)生。
聲明:
“用于光學(xué)元件表面熒光特性顆粒檢測的裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)