本發(fā)明涉及光學(xué)元件亞表面缺陷的無損檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種基于量子點(diǎn)光漂白的光學(xué)元件亞表面缺陷檢測(cè)方法及系統(tǒng)?？梢蕴岣吖鈱W(xué)元件亞表面缺陷檢測(cè)的準(zhǔn)確性和精確性。本發(fā)明采用的技術(shù)方案為：1）光學(xué)元件和量子點(diǎn)標(biāo)記物表征；2）使用量子點(diǎn)標(biāo)記光學(xué)元件亞表面缺陷；3）光學(xué)元件亞表面缺陷熒光檢測(cè)；4）采集亞表面缺陷熒光圖像；5）提取缺陷熒光強(qiáng)度；6）定量分析亞表面缺陷中量子點(diǎn)的抗光漂白特性；7）光學(xué)元件亞表面缺陷檢測(cè)。