本發(fā)明公開了一種基于同軸雙圓錐透鏡的暗場共焦亞表面檢測裝置和方法,點(diǎn)光源發(fā)出的光經(jīng)準(zhǔn)直鏡形成平行光,平行光依次經(jīng)擴(kuò)束器、圓錐透鏡一和圓錐透鏡二形成環(huán)形光,環(huán)形光經(jīng)分光棱鏡和物鏡匯聚至待測樣品;待測樣品發(fā)出的反射光和散射光依次經(jīng)過物鏡和分光棱鏡,入射至探測互補(bǔ)光闌,反射光被探測互補(bǔ)光闌遮擋,散射光依次經(jīng)過探測互補(bǔ)光闌、收集透鏡和探測針孔,入射至光電探測器。本發(fā)明采用擴(kuò)束器以及一組對稱放置的同軸圓錐透鏡實(shí)現(xiàn)占空比可調(diào)的環(huán)形光照明,結(jié)合探測互補(bǔ)光闌實(shí)現(xiàn)暗場共焦,解決了普通共焦顯微技術(shù)檢測亞表面損傷信噪比低、遮擋式環(huán)形光發(fā)生器占空比不可調(diào)、能量損失大的問題,適用于亞表面無損檢測。
聲明:
“基于同軸雙圓錐透鏡的暗場共焦亞表面檢測裝置和方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)