本發(fā)明涉及一種用于檢測平板光學(xué)元件面形誤差的裝置及方法。所述裝置包括光學(xué)元件支架,匹配液體,匹配液體盛放槽。所述裝置可在使用立式干涉儀測量平板光學(xué)元件時,消除平板光學(xué)元件后光學(xué)表面反射光對前光學(xué)表面面形誤差檢測造成的干擾,進而檢測出可靠的光學(xué)表面面形誤差分布。本裝置及方法能有效解決普通立式干涉儀無法檢測平板光學(xué)元件面形誤差的問題,且裝置及方法原理簡單、制造及使用成本較低,在不改變原立式干涉儀結(jié)構(gòu)的情況下能完成對平板光學(xué)元件面形誤差的檢測。采用非接觸的方式檢測光學(xué)元件面形誤差,對光學(xué)元件無損傷,無夾持應(yīng)力。檢測光學(xué)元件面形誤差,過程中對光學(xué)元件的清洗用自來水清洗即可,不需要特殊的清洗溶劑及方法。
聲明:
“用于檢測平板光學(xué)元件面形誤差的裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)