X射線照射下六氟化硫氣體局部放電檢測方法及其裝置，裝置包括試驗變壓器（1）、GIS試驗段（2）、高壓引線（3）、套管（4）、絕緣缺陷（5）、高頻X射線機（6）、X射線發(fā)射窗（7）、四角支架（8）、高頻X射線機控制箱（9）、校驗裝置（10）、檢測阻抗（11）、電纜（12）、采集裝置（13）、電池電纜（14）、電池組（15）、光纖（16）、光纖控制器（17）、USB線（18）和便攜脈沖電流工業(yè)電腦（19）、耦合電容（20）。本發(fā)明具有高效、無損、可視等顯著優(yōu)點。