本發(fā)明提供了一種用于通過熱流熱成像法無(wú)損的、非接觸的并且形成圖像來檢查樣品的方法，其中所述檢查包括評(píng)價(jià)樣品表面下的任何熱流速度轉(zhuǎn)變的存在和/或深度距離值，其中所述樣品被至少一個(gè)激發(fā)源的熱脈沖激發(fā)，并且源于那里的熱流被至少一個(gè)紅外傳感器以熱圖像的圖像序列捕獲，并且其中，通過信號(hào)和圖像處理來評(píng)價(jià)從所述圖像序列獲得的熱圖像，并且以時(shí)間和空間分辨率描述熱流。所述方法包括：通過來自所述激發(fā)源的熱脈沖相互獨(dú)立地至少兩次激發(fā)樣品，其中第二次激發(fā)以及任何隨后的激發(fā)相對(duì)于前一次激發(fā)被延遲一個(gè)時(shí)延，由此被捕獲的序列的起點(diǎn)發(fā)生在一個(gè)圖像序列內(nèi)的兩個(gè)圖像之間的時(shí)間內(nèi)的另一個(gè)限定的時(shí)間點(diǎn)；通過紅外傳感器以獨(dú)立的圖像序列檢測(cè)由所述樣品的至少兩次激發(fā)過程產(chǎn)生的相應(yīng)的整個(gè)熱流過程，所述圖像序列含有所述激發(fā)以及來自樣品的熱應(yīng)答信號(hào)，將所有被捕獲的圖像序列組合為一個(gè)總的圖像序列，其中所有的圖像以相對(duì)于脈沖狀激發(fā)的時(shí)間點(diǎn)在時(shí)間上是正確的順序排列，并且以本質(zhì)上已知的方式從所述總的圖像序列中提取來自所述樣品表面的熱流速度轉(zhuǎn)變的深度距離的指示。在那里，所述熱流速度轉(zhuǎn)變可以是層狀材料的一個(gè)較寬層，或者是基底中或低于工件表面的缺陷。