一種基于納米測量與傾斜掃描白光干涉微結(jié)構(gòu)測試系統(tǒng)及方法,系統(tǒng)有圖像采集卡,數(shù)字CCD攝像機(jī),顯微光學(xué)系統(tǒng),干涉物鏡,可調(diào)傾斜工作臺,PC機(jī),納米測量機(jī),工作臺傾斜控制器,通過光纖向顯微光學(xué)系統(tǒng)提供光源的白光光源,PC機(jī)還分別連接圖像采集卡和工作臺傾斜控制器。方法是在納米測量機(jī)的工作平臺上固定可調(diào)傾斜工作臺,將被測樣品至于其上,由PC機(jī)控制納米測量機(jī)帶動可調(diào)傾斜工作臺沿其傾斜角度完成掃描,CCD數(shù)字?jǐn)z像機(jī)采集圖像并由圖像采集卡傳至PC機(jī)進(jìn)行后續(xù)處理;對于采集的圖像進(jìn)行追蹤并進(jìn)行干涉信號的提取后,進(jìn)行零級干涉條紋的位置進(jìn)行定位,最終確定表面形貌。本發(fā)明為無損的檢測,消除了光源熱效應(yīng)的影響,可以實現(xiàn)0.1nm的位移分辨力。
聲明:
“基于納米測量與傾斜掃描白光干涉微結(jié)構(gòu)測試系統(tǒng)及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)