本發(fā)明公開了一種單狹縫空間載波剪切散斑干涉測量系統(tǒng)及測量方法,其特征是:激光器出射的激光經(jīng)過擴束鏡之后以擴散光的形式照射被測物,被測物的表面漫反射光依次經(jīng)過成像鏡頭、狹縫光闌、4f系統(tǒng)以及邁克爾遜型裝置投射在CCD相機的靶面上。本發(fā)明可以對被測物表面的缺陷和應(yīng)力形變進行無損、全場、快速、動態(tài)測量,且便于現(xiàn)場測量。
聲明:
“單狹縫空間載波剪切散斑干涉測量系統(tǒng)及測量方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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