本發(fā)明公開一種二維分辨掃描成像紅外調(diào)制光致發(fā)光光譜測試裝置及方法。該裝置包括具有步進掃描功能的傅立葉變換紅外光譜儀、作為激發(fā)光源的泵浦光系統(tǒng)、用于精確定位的五軸調(diào)節(jié)與復(fù)位控制平臺及平行校正系統(tǒng)、聯(lián)接傅立葉變換紅外光譜儀中探測器和電路控制板的鎖相放大器和泵浦激光源之間光路上的斬波器。本發(fā)明還基于上述設(shè)備,提出實現(xiàn)波段覆蓋4-20μm寬波段的二維空間分辨與掃描成像紅外調(diào)制光致發(fā)光光光譜測試方法。本發(fā)明是一種檢測窄
半導(dǎo)體材料光學(xué)性質(zhì)和能帶結(jié)構(gòu)空間均勻度的光譜學(xué)測試裝置和方法,具有無損高靈敏優(yōu)點,非常適合于大面積紅外探測器面陣材料的平面空間均勻性檢測。
聲明:
“二維分辨掃描成像紅外調(diào)制光致發(fā)光光譜測試裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)