本申請(qǐng)公開(kāi)了一種透射式平面閃耀光柵槽形角的測(cè)量方法,包括如下步驟:使線光源發(fā)出的平行光束沿光柵面法線方向入射閃耀光柵,記錄此時(shí)閃耀光柵的基準(zhǔn)線與零位之間的初始角度K1,以及所述線光源的光能量值;保持光源不動(dòng),沿所述閃耀光柵的中心軸旋轉(zhuǎn)所述閃耀光柵,并持續(xù)檢測(cè)從所述閃耀光柵的刻痕小平面出射的衍射光能量值,當(dāng)所述閃耀光柵每轉(zhuǎn)過(guò)1°的兩個(gè)T值之間差值的絕對(duì)值≧5%時(shí),記錄終止角度K2;據(jù)如下公式計(jì)算所述閃耀光柵槽形角θ:
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其中,n為所述閃耀光柵基片材料的折射率,k=K2?K1。本申請(qǐng)所述的槽形角的測(cè)量方法測(cè)量光路簡(jiǎn)單,實(shí)驗(yàn)要求低,且無(wú)需切片,對(duì)待測(cè)的閃耀光柵是無(wú)損的。
聲明:
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