本發(fā)明提供一種晶圓片的壽命測試方法，步驟包括：氧化，至少在晶圓片的一個表面上形成一層氧化膜；鈍化，在具有所述氧化膜的其中一個所述晶圓片表面上進(jìn)行電荷沉積；測試，再對鈍化后的所述晶圓片表面進(jìn)行壽命測試。本發(fā)明測試方法為無損檢測，無需對晶圓片進(jìn)行化學(xué)鈍化，即可對晶圓片體內(nèi)載流子壽命進(jìn)行檢測，測試結(jié)果準(zhǔn)確且測試效率高，測試完成后可以繼續(xù)對晶圓片進(jìn)行其他理化性質(zhì)方面的檢測及測試，提高晶圓片的利用率，節(jié)約成本。