本發(fā)明公開了一種紅外反射法測(cè)硅基圖形片表面苯并三唑(BTA)的方法。本發(fā)明按照下述步驟進(jìn)行:將干燥后的苯并三唑分別配制成0.1mol/L-0.15mol/L、0.15mol/L-0.2mol/L、0.2mol/L-0.25mol/L、0.25mol/L-0.3mol/L、0.3mol/L-0.35mol/L的BTA;上述配制好的BTA按照五點(diǎn)法的位置滴加到十二吋的硅基圖形片上,使用紅外反射法測(cè)量其濃度;使用TQAnalyst(紅外定量分析)建立模型曲線,保存為定量分析標(biāo)準(zhǔn),檢測(cè)其它樣品的苯并三唑(BTA)溶液濃度時(shí),首先進(jìn)行檢測(cè)生成譜圖,然后調(diào)取上述步驟d的定量分析標(biāo)準(zhǔn),進(jìn)行定量分析。本發(fā)明方法解決了在十二吋晶圓樣品臺(tái)上進(jìn)行苯并三唑(BTA)濃度測(cè)量的問題,其他方法均不能滿足在十二吋晶圓上對(duì)BTA的無損測(cè)量。
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“紅外反射法測(cè)硅基圖形片表面苯并三唑濃度的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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