本發(fā)明涉及一種薄層材料方塊電阻和連接點(diǎn)接觸電阻測(cè)試方法,包括:在薄層材料的表面安裝至少四個(gè)電極;對(duì)所述電極之間的電阻進(jìn)行測(cè)量;根據(jù)理論模型,從測(cè)量的所述電極之間的電阻、和所述電極之間的距離計(jì)算所述薄層材料的方塊電阻和電極接觸電阻。本方法的主要特點(diǎn)是簡(jiǎn)單方便,是一種薄層材料方塊電阻和電極接觸電阻的無(wú)損檢測(cè)方法,對(duì)電極分布沒(méi)有嚴(yán)格要求。
聲明:
“薄層材料方塊電阻和連接點(diǎn)接觸電阻測(cè)試方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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