本發(fā)明涉及一種薄膜材料相變溫度測量裝置,包括襯底、電極陣列、探測光光源、信號探測裝置、紅外測溫裝置和計(jì)算機(jī);襯底為不透光襯底,電極陣列置于襯底上,待測薄膜覆蓋于電極陣列的表面,探測光光源向待測薄膜表面發(fā)射探測光,在探測光光斑落點(diǎn)平面內(nèi),電極陣列在至少一個(gè)方向呈現(xiàn)周期性結(jié)構(gòu),探測光的入射方向與電極的周期性變化方向相同;信號探測裝置獲取經(jīng)電極陣列衍射的探測光信號,傳輸至計(jì)算機(jī);電極陣列的一端接電源正極、另一端接電源負(fù)極,通電后能夠?yàn)榇郎y薄膜加熱,紅外測溫裝置安裝于待測薄膜上方監(jiān)測待測薄膜的溫度,傳輸至計(jì)算機(jī)。本發(fā)明裝置及方法基于光學(xué)衍射,能夠準(zhǔn)確、快速地測量薄膜相變溫度,具有快速、無損測量的特點(diǎn)。
聲明:
“薄膜材料相變溫度測量裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)