本發(fā)明提供一種基于微納熒光顆粒的薄膜熱導(dǎo)率測量系統(tǒng),所述測量系統(tǒng)至少包括:樣品結(jié)構(gòu)模塊、成像光路模塊以及激發(fā)射和光譜測量模塊;所述樣品結(jié)構(gòu)模塊至少包括襯底、待測薄膜、吸收熱源和微納熒光顆粒;所述待測薄膜置于所述襯底上,所述吸收熱源和微納熒光顆粒放置在所述待測薄膜表面;或者所述微納熒光顆粒直接放置在所述襯底上;所述激光發(fā)射和光譜測量模塊安裝在所述樣品結(jié)構(gòu)模塊的上方,用于照射待測薄膜以使所述吸收熱源吸收激光能量產(chǎn)生熱量,同時使微納熒光顆粒受到激光激發(fā)產(chǎn)生熒光,并對光譜進行測量。利用本發(fā)明的測量系統(tǒng)可以實現(xiàn)對微納米薄膜熱導(dǎo)率的無損、便捷、可靠測量。
聲明:
“基于微納熒光顆粒的薄膜熱導(dǎo)率測量系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)