本發(fā)明公開(kāi)了一種多孔low?k材料孔隙率的測(cè)試方法,通過(guò)在二片晶圓上以是否通入致孔劑作為區(qū)別條件,分別沉積無(wú)孔low?k介質(zhì)層和多孔low?k介質(zhì)層,并將計(jì)算得到的無(wú)孔low?k介質(zhì)層的密度作為采用質(zhì)量體積法測(cè)量孔隙率時(shí)的理想狀態(tài)下致密無(wú)孔low?k介質(zhì)的真密度,以相對(duì)法得到多孔low?k介質(zhì)層的孔隙率,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)多孔low?k介質(zhì)層孔隙率的無(wú)損測(cè)試,消除了現(xiàn)有的質(zhì)量體積法測(cè)量孔隙率時(shí)需要破壞樣品、步驟復(fù)雜及容易失準(zhǔn)的缺陷,因此,本發(fā)明的測(cè)試方法具有操作簡(jiǎn)單易行、成本低的特點(diǎn),同時(shí)保證了測(cè)試的準(zhǔn)確性。
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“多孔low k材料孔隙率的測(cè)試方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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