本申請實(shí)施例提供了一種3D?NAND存儲器階梯結(jié)構(gòu)關(guān)鍵尺寸的量測方法，該量測方法包括：在存儲單元的非字線區(qū)設(shè)置關(guān)鍵尺寸量測區(qū)；在字線區(qū)形成多級階梯結(jié)構(gòu)，同時在所述量測區(qū)形成多個周期性排布的獨(dú)立階梯結(jié)構(gòu)，其中，形成在所述量測區(qū)內(nèi)的獨(dú)立階梯結(jié)構(gòu)與形成在字線區(qū)內(nèi)的階梯結(jié)構(gòu)具有相同的關(guān)鍵尺寸；采用光學(xué)關(guān)鍵尺寸測量方法對所述量測區(qū)內(nèi)的周期性分布的階梯結(jié)構(gòu)進(jìn)行關(guān)鍵尺寸測量，得到的測量結(jié)果用于表征字線區(qū)階梯結(jié)構(gòu)的關(guān)鍵尺寸。該測量方法能夠?qū)崿F(xiàn)對3D?NAND存儲器階梯結(jié)構(gòu)關(guān)鍵尺寸的快速無損量測。因而該方法可以用于3D?NAND存儲器的字線區(qū)階梯形貌刻蝕工藝的在線監(jiān)測。