一種基于數(shù)字散斑干涉的曲面物體離面形變測(cè)量方法及裝置,其特征是通過(guò)對(duì)曲面物體進(jìn)行40~50度入射照明并采集光束偏轉(zhuǎn)前、后以及相移前后的散斑圖獲取曲面的三維形貌,根據(jù)三維形貌計(jì)算得到曲面上任意點(diǎn)的法線矢量,然后通過(guò)對(duì)待測(cè)曲面進(jìn)行加載,進(jìn)一步得到待測(cè)曲面變形前后的不同散斑圖,結(jié)合形貌測(cè)量獲得曲面物體表面任意一點(diǎn)的法線矢量,測(cè)得沿法線方向的離面形變。本發(fā)明能夠?qū)θS形貌和離面形變實(shí)現(xiàn)綜合測(cè)量,是一種無(wú)損,全場(chǎng),高效的數(shù)字散斑干涉測(cè)量方法。
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