本發(fā)明公開了一種基于
石墨烯電荷耦合器件的輻射探測(cè)器,由若干像素組成陣列,單個(gè)像素包括柵極、半導(dǎo)體襯底、絕緣層、源極、漏極、石墨烯薄膜和隔離。輻射粒子由背部入射后被半導(dǎo)體襯底吸收,產(chǎn)生與入射能量成正比的電子空穴對(duì),其中少子積累到由脈沖柵壓產(chǎn)生的深耗盡勢(shì)阱中,石墨烯耦合出與勢(shì)阱中空穴對(duì)應(yīng)的等量電子,通過監(jiān)測(cè)石墨烯電流讀出勢(shì)阱中的載流子數(shù)量,像素間設(shè)有隔離防止串?dāng)_。由于石墨烯薄膜的特殊性質(zhì),其通過電容性耦合有效收集載流子,產(chǎn)生的電流信號(hào)直接從單個(gè)像素結(jié)構(gòu)輸出,實(shí)現(xiàn)隨機(jī)無損讀出,無需采用傳統(tǒng)電荷耦合器件的像素之間橫向轉(zhuǎn)移電荷方式,且石墨烯本身具有增益效應(yīng),從而提高輻射探測(cè)靈敏度和探測(cè)極限。
聲明:
“基于石墨烯電荷耦合器件的輻射探測(cè)器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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