本發(fā)明提供了一種測量非透明薄膜厚度分布的雙面干涉裝置和方法,所述方法設(shè)置了兩個(gè)物光對(duì)向、共軸的白光干涉光路,位移臺(tái)帶動(dòng)厚度標(biāo)樣或薄膜樣品沿物光光軸方向步進(jìn)運(yùn)動(dòng),同時(shí),兩個(gè)面陣探測器采集厚度標(biāo)樣或薄膜樣品表面的形貌信息,通過厚度標(biāo)樣標(biāo)定兩個(gè)干涉物鏡的干涉焦面間的距離,進(jìn)而計(jì)算薄膜樣品厚度分布,應(yīng)用本方法制成的測量裝置,無需輔助夾具,可實(shí)現(xiàn)非透明薄膜厚度分布的快速、無損和精確測量。
聲明:
“測量非透明薄膜厚度分布的雙面干涉裝置和方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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