本實(shí)用新型公開了一種計(jì)量級(jí)3D超景深干涉顯微系統(tǒng)，涉及光電無損3D檢測技術(shù)領(lǐng)域；該顯微系統(tǒng)包括光學(xué)顯微鏡、白光干涉?zhèn)鞲衅?、xyz軸電動(dòng)位移平臺(tái)以及控制模塊和PC處理器；xyz軸電動(dòng)位移平臺(tái)包括xy軸平移臺(tái)和z軸升降模塊，光學(xué)顯微鏡配置有照明光源和圖像采集單元，控制模塊包括xyz電動(dòng)控制單元、與白光干涉?zhèn)鞲衅鬟B接的白光干涉信號(hào)處理器以及電源模塊，圖像采集單元用于采集目標(biāo)檢測區(qū)域的圖像信息，并將圖像信息傳輸至PC處理器；通過實(shí)施本技術(shù)方案，能夠無損觀察樣品，并能夠超大面積對(duì)材料表面的微觀狀態(tài)進(jìn)行拍照、3D真彩色成像及3D精準(zhǔn)測量，實(shí)現(xiàn)計(jì)量級(jí)的檢測精度，并保有微觀樣品的細(xì)節(jié)與真實(shí)顏色，具有很好的應(yīng)用前景。