本發(fā)明涉及高頻3-3型復合壓電陶瓷元件的制作方法,包括取軟性壓電材料粉料與造孔劑混合,裝入模具中施加3000Kg~4000Kg/cm2壓力成型,然后放在密閉的剛玉坩堝中,在高溫爐中以每小時20~50℃的升溫速度直至600℃進行排塑,燒結成多孔結構的坯體;配制取與步驟1)相同的軟性壓電材料粉料,添加松油醇或者環(huán)酮類溶劑,乙基纖維素粘合劑,并充分混合均勻成膠體:通過旋涂工藝將步驟2)制備好的膠體,旋涂在步驟1)制得的多孔結構的坯體上、下表面,烘干制得到帶有上、下致密層的素坯;經排塑燒結:再進行極化得到3-3型壓電復合元件。該方法制得復合壓電元件厚度能降低至0.2mm,頻率可以高達10MHz。這在超聲無損檢測和醫(yī)用超聲領域中有著廣闊的應用前景。
聲明:
“高頻3-3型復合壓電陶瓷元件的制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯系該技術所有人。
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