本實(shí)用新型公開了一種晶粒分類機(jī),包括架體、晶粒吸取裝置、晶圓承載盤、視覺檢測(cè)裝置以及控制裝置。晶粒吸取裝置可旋轉(zhuǎn)設(shè)置于架體上,晶粒吸取裝置包括吸嘴;晶圓承載盤設(shè)置于架體上且可被控制得能在yz平面內(nèi)移動(dòng),晶圓承載盤具有一晶圓承載槽;視覺檢測(cè)裝置與晶粒吸取裝置并列排設(shè)于架體上,視覺檢測(cè)裝置用于獲取晶粒吸取裝置中吸嘴的圖像信息,以及用于獲取吸嘴吸取目標(biāo)晶粒后的圖像信息;控制裝置連接晶粒吸取裝置、晶圓承載盤以及視覺檢測(cè)裝置,至少用于控制晶圓承載盤的移動(dòng),控制晶粒吸取裝置以及視覺檢測(cè)裝置的運(yùn)作。本實(shí)用新型的晶粒分類機(jī)能夠準(zhǔn)確地且無損的挑起并吸取晶粒,提高晶粒的挑選良率。
聲明:
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