本發(fā)明公開了一種基于cMUT環(huán)形陣列的微型光聲傳感器,包括光纖頭、透鏡、cMUT環(huán)形陣列探頭、cMUT陣元和透光保護膜。本發(fā)明具有以下有益效果:實現(xiàn)無損光聲激發(fā)與傳感的一體化微型結(jié)構(gòu),可廣泛應(yīng)用于血糖血氧檢測、腦損傷診斷、乳腺癌普查、內(nèi)窺式醫(yī)學成像、工業(yè)檢測與探傷等領(lǐng)域。
聲明:
“基于cMUT環(huán)形陣列的微型光聲傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)