本發(fā)明公開了一種高分辨率表面等離子體顯微鏡(SPM),該顯微鏡能對待測微納樣品實(shí)現(xiàn)高精度、高分辨率的無損檢測。包括表面等離子體光學(xué)系統(tǒng)、位移操控系統(tǒng)、圖像處理系統(tǒng)。表面等離子體光學(xué)系統(tǒng)通過微納位移操作系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)樣品的聚焦以及橫向方向上的逐點(diǎn)掃描,由圖像傳感器記錄該點(diǎn)樣品在顯微物鏡后焦面上的反射圖譜,并由圖像處理系統(tǒng)對該圖譜的表面等離子體信號進(jìn)行自動提取,從而實(shí)現(xiàn)樣品特征的表征和表面形貌的重構(gòu)。該顯微鏡在橫向上可達(dá)到亞微米級別的分辨率,在縱向上可達(dá)到亞納米級別的分辨率。
聲明:
“高分辨率表面等離子體顯微鏡” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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