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華東	上海上海保稅區(qū)江蘇南京無錫徐州常州蘇州南通連云港淮安鹽城揚(yáng)州鎮(zhèn)江泰州宿遷南京港宜興浙江杭州寧波溫州紹興湖州嘉興金華衢州臺(tái)州麗水舟山安徽合肥蕪湖蚌埠淮南馬鞍山淮北銅陵安慶黃山阜陽宿州滁州六安宣城池州亳州福建福州廈門漳州泉州三明莆田南平龍巖寧德江西南昌九江上饒撫州宜春吉安贛州景德鎮(zhèn)萍鄉(xiāng)新余鷹潭山東濟(jì)南青島淄博棗莊東營煙臺(tái)濰坊濟(jì)寧泰安威海日照濱州德州聊城臨沂菏澤萊州港龍口港黃島前灣港董家口港日照港青島港威海港煙臺(tái)港鄒平萊蕪
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用粘附性判定標(biāo)準(zhǔn)值判斷薄膜粘附性好壞的一種方法

802 編輯：管理員來源：中冶有色技術(shù)網(wǎng)

2023-03-19 08:58:55

本發(fā)明提供用粘附性判定標(biāo)準(zhǔn)值判斷薄膜粘附性好壞的一種方法，包括：利用指數(shù)內(nèi)聚力模型的勢函數(shù)作為薄膜襯底結(jié)構(gòu)中薄膜襯底界面單元的本構(gòu)模型，建立考慮界面粘附性的有限元模型；獲得襯底和薄膜間最大界面應(yīng)力隨粘附性變化而變化的趨勢；利用獲得的最大界面應(yīng)力隨參數(shù)σmax/δn變化而變化的趨勢圖，來確定粘附性判定標(biāo)準(zhǔn)值；將最大界面應(yīng)力飽和值的95％設(shè)置為最大界面應(yīng)力標(biāo)準(zhǔn)值，把最大界面應(yīng)力標(biāo)準(zhǔn)值對(duì)應(yīng)的參數(shù)σmax/δn的取值作為粘附性好壞的判定標(biāo)準(zhǔn)值；檢測樣片的粘附性值；根據(jù)粘附性判定標(biāo)準(zhǔn)值判斷得出樣片粘附性好壞。本發(fā)明可無損、快速、準(zhǔn)確的判斷出薄膜與襯底間的粘附性的好壞。

聲明：

“用粘附性判定標(biāo)準(zhǔn)值判斷薄膜粘附性好壞的一種方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究，如用于商業(yè)用途，請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)