本發(fā)明公開了一種大面積多特征射線表面分析裝置，包括多特征測(cè)量結(jié)構(gòu)、三維移動(dòng)平臺(tái)、激光光源、光譜儀以及控制系統(tǒng)，所述多特征測(cè)量結(jié)構(gòu)安裝于三維移動(dòng)平臺(tái)上，激光光源和光譜儀安裝于三維移動(dòng)平臺(tái)底部，控制系統(tǒng)連接并控制多特征測(cè)量結(jié)構(gòu)、三維移動(dòng)平臺(tái)、激光光源以及光譜儀。本發(fā)明可針對(duì)同一樣品點(diǎn)進(jìn)行點(diǎn)分析，同時(shí)獲得元素成分、結(jié)晶相、分子結(jié)構(gòu)以及形貌特征信息，又能針對(duì)指定區(qū)域進(jìn)行分布掃描分析，同時(shí)獲得該區(qū)域元素分布、結(jié)晶相分布、分子結(jié)構(gòu)分布成像以及形貌特征信息，具有高效快速，結(jié)構(gòu)緊湊，功能強(qiáng)大，可分析樣品范圍廣，無(wú)需采樣或?qū)悠穾У綄?shí)驗(yàn)室即可在現(xiàn)場(chǎng)實(shí)現(xiàn)原位無(wú)損分析等特點(diǎn)。