基礎金屬	銅電解銅銅精礦銅管銅棒廢銅銅排銅合金精銅桿再生銅桿銅板帶鋁鋁土礦氧化鋁電解鋁鋁輔料鋁棒鋁合金錠廢鋁鋁桿鋁型材鋁板卷鉛鉛精礦鉛錠鉛蓄電池再生精鉛還原鉛廢鉛蓄電池鉛合金鋅鋅精礦電解鋅鋅合金氧化鋅鋅粉錫錫精礦錫錠錫材
稀貴金屬	稀土稀土礦稀土氧化物稀土金屬釹鐵硼小金屬銻鉍銦鍺鎵硒鉭鋯貴金屬白銀
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西北	甘肅蘭州嘉峪關金昌白銀天水武威張掖平?jīng)?/a>酒泉慶陽定西隴南臨夏州甘南州陜西西安寶雞咸陽銅川渭南延安榆林漢中安康商洛青海西寧海東海北州黃南州海南州果洛州玉樹州海西州寧夏銀川石嘴山吳忠固原中衛(wèi)新疆烏魯木齊克拉瑪依吐魯番哈密阿克蘇地區(qū)喀什和田昌吉州博爾塔州巴音州克孜州伊犁州塔城阿勒泰自治區(qū)

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測試設備、失效分析方法和測試系統(tǒng)

710 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 08:59:29

本公開實施例提供了一種測試設備、失效分析方法和測試系統(tǒng)，該測試設備包括芯片載臺和用于支撐芯片載臺的支撐底座，且支撐底座內設置有比較模塊和可調電阻模塊；其中，芯片載臺，用于承載被測芯片；比較模塊，與可調電阻模塊連接，用于對被測芯片中待測試層的接地電壓與芯片載臺的接地電壓進行比較，根據(jù)比較結果和可調電阻模塊對待測試層的接地電阻進行調節(jié)，以降低待測試層的表面荷電效應。本公開實施例能夠降低待測試層的接地點和芯片載臺的接地點之間的信號干擾，改善EBAC的成像效果，使得在對被測芯片進行失效分析時，可以快速且準確地定位失效點。

聲明：

“測試設備、失效分析方法和測試系統(tǒng)” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)