本發(fā)明公開了一種BEOL測試
芯片在線失效分析的方法。本發(fā)明通過拆分特性測試的失效結(jié)構(gòu)生成多個虛擬缺陷,并合成檢測缺陷結(jié)果的方法,實現(xiàn)了自動自動掃描電子顯微鏡對失效位置的尋找確認(rèn)和分析。本發(fā)明可以避免對硅片的破壞性分析,提高分析效率和成功率,同時實現(xiàn)對檢測程序的實時反饋,提高程序優(yōu)化的效率和準(zhǔn)確率。本發(fā)明適用于半導(dǎo)體工藝中BEOL測試芯片在線失效分析方法。
聲明:
“BEOL測試芯片在線失效分析的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)