公開了一種失效分析方法及結(jié)構(gòu),方法包括:獲取測試結(jié)構(gòu)的位置以及與所述測試結(jié)構(gòu)對應(yīng)的目標(biāo)焊盤的位置;將所述目標(biāo)焊盤電連接至空白焊盤上;通過所述空白焊盤對所述測試結(jié)構(gòu)進(jìn)行失效分析,其中,所述目標(biāo)焊盤位于所述測試結(jié)構(gòu)上方,將所述目標(biāo)焊盤電連接至所述空白焊盤上后,所述目標(biāo)焊盤與所述空白焊盤之間實現(xiàn)電交流。該申請中通過將目標(biāo)焊盤與空白焊盤電連接,通過在空白焊盤扎針進(jìn)行失效分析的方法,避免了直接在目標(biāo)焊盤扎針進(jìn)行失效分析的過程中,多次扎針引起的測試結(jié)構(gòu)損傷的情況,提高了失效點(diǎn)定位的準(zhǔn)確性。
聲明:
“失效分析方法及結(jié)構(gòu)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)