本發(fā)明公開一種新的全自動(dòng)檢測泵失效的方法，其中，硅片是依次傳送至工藝腔室中以進(jìn)行制造過程，并且泵是用于為工藝腔室抽取一定的真空度，其特征在于，在上一片硅片在工藝腔室中結(jié)束制造后，下一片硅片還沒有進(jìn)入工藝腔室前，增加泵的底壓檢測的步驟，用于檢測位于工藝周期中的泵的底壓狀態(tài)。本發(fā)明一種新的全自動(dòng)檢測泵失效的方法，通過在工藝程式結(jié)束前增加設(shè)定特定的條件步驟，用來自動(dòng)檢測泵的底壓，有效地實(shí)現(xiàn)泵的全自動(dòng)底壓檢測，并防止由于泵失效產(chǎn)生的顆粒導(dǎo)致的硅片報(bào)廢。從而避免人工停機(jī)人工檢測所帶來的資源消耗與機(jī)時(shí)的浪費(fèi)，同時(shí)也解決傳統(tǒng)的檢測方法的頻率太低所帶來的產(chǎn)能風(fēng)險(xiǎn)。