器件多余物微粒碰撞檢測裝置的振動臺負(fù)反饋失效檢測系統(tǒng)及其檢測方法,涉及器件多余物檢測技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明是為了解決現(xiàn)有的器件多余物微粒碰撞檢測裝置振動臺負(fù)反饋失效時會產(chǎn)生過大的振動加速度,可能會振落或振飛振動臺面上的被測件,造成周圍的設(shè)備或工作人員受到損害的問題。先是根據(jù)振動臺不同的振動頻率選取失效檢測所需的閾值;再次,在振動臺運(yùn)行時,根據(jù)所述閾值判斷所述裝置的所述振動臺負(fù)反饋是否失效,如果失效則拉低驅(qū)動器的驅(qū)動信號,使振動臺停止振動。它用于消除了振動臺負(fù)反饋失效后振動臺臺面撞底的現(xiàn)象。
聲明:
“器件多余物微粒碰撞檢測裝置的振動臺負(fù)反饋失效檢測系統(tǒng)及其檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)