本發(fā)明公開了一種采用納米壓入測(cè)試技術(shù)預(yù)測(cè)薄膜疲勞失效的方法，屬于薄膜疲勞失效的預(yù)測(cè)方法。本發(fā)明的薄膜疲勞失效預(yù)測(cè)方法的具體步驟如下：采用磁控濺射技術(shù)制備組織均勻的薄膜；然后將薄膜放在納米壓痕儀上并設(shè)定載荷平均值、載荷幅值、加載頻率以進(jìn)行測(cè)試；在測(cè)試過(guò)程中記錄薄膜的存數(shù)剛度隨時(shí)間的變化關(guān)系；通過(guò)分析實(shí)驗(yàn)結(jié)果，找出數(shù)據(jù)中存數(shù)剛度變化的轉(zhuǎn)折點(diǎn)以得出薄膜發(fā)生疲勞失效的時(shí)間。本發(fā)明的薄膜測(cè)試中薄膜為鋁、鈦金、鋯、銀、鎳、鉬、硅或鈦鋁薄膜。本發(fā)明采用納米壓入測(cè)試技術(shù)預(yù)測(cè)薄膜疲勞失效的方法操作簡(jiǎn)單，結(jié)果準(zhǔn)確有效并且適應(yīng)性強(qiáng)。