本發(fā)明公開了一種監(jiān)測(cè)器件的低工作電壓失效的測(cè)試方法，涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域。該方法為：建立多個(gè)測(cè)試結(jié)構(gòu)，所有的所述測(cè)試結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)均相同；在每個(gè)所述測(cè)試結(jié)構(gòu)上均放置有寬度不同的遮蓋板；對(duì)所有的所述測(cè)試結(jié)構(gòu)進(jìn)行離子摻雜，被遮蓋板覆蓋的區(qū)域不能進(jìn)行離子摻雜，能進(jìn)行離子摻雜的區(qū)域?yàn)樗鰷y(cè)試結(jié)構(gòu)的工作區(qū)間；同時(shí)測(cè)試所有所述測(cè)試結(jié)構(gòu)的飽和電流和工作電壓，根據(jù)測(cè)試結(jié)果獲取所述測(cè)試結(jié)構(gòu)所對(duì)應(yīng)的工作區(qū)間是否存在是失效，從而獲取器件的低工作電壓是否失效。該方法能夠快速確認(rèn)低工作電壓是否存在失效現(xiàn)象；批量快速找出制程在該類問題的工作區(qū)間，縮短了制程開發(fā)周期，有效節(jié)約了開發(fā)成本。