本發(fā)明公開(kāi)了一種微納傳感器封裝氣密性失效時(shí)間預(yù)測(cè)方法,通過(guò)確定所述微納傳感器在不同時(shí)刻的漏率,并建立所述漏率和時(shí)間的函數(shù)關(guān)系;然后基于所述函數(shù)關(guān)系和所述微納傳感器的封裝腔體內(nèi)部體積,建立預(yù)測(cè)模型,并根據(jù)所述預(yù)測(cè)模型確定出封裝腔內(nèi)壓強(qiáng)與時(shí)間的變化關(guān)系;然后基于所述變化關(guān)系和所述封裝腔壓強(qiáng)的失效閾值對(duì)封裝氣密性失效時(shí)間進(jìn)行預(yù)測(cè),實(shí)現(xiàn)了針對(duì)微納傳感器氣密性失效時(shí)間進(jìn)行預(yù)測(cè),以及微納傳感器氣密性封裝的可靠性預(yù)測(cè)僅需少量的數(shù)據(jù)獲取就可以進(jìn)行,有效地減少了預(yù)測(cè)需要的時(shí)間。
聲明:
“微納傳感器封裝氣密性失效時(shí)間的預(yù)測(cè)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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