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分柵快閃存儲(chǔ)器及避免其編程串?dāng)_失效的方法

1052   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:59:34
本發(fā)明提供了一種分柵快閃存儲(chǔ)器及避免其編程串?dāng)_失效的方法,包括:提供管芯,所述管芯包括襯底、形成于所述襯底上的隧穿氧化層;在所述隧穿氧化層表面形成字線層,所述字線層的厚度H0=H1+ΔH,其中,H1為制程設(shè)定的需要形成的字線層厚度,ΔH為制程監(jiān)控測(cè)試中量測(cè)出的字線層厚度H2與實(shí)際的字線層厚度H3的差值。本發(fā)明所提供的分柵快閃存儲(chǔ)器及避免其編程串?dāng)_失效的方法,通過數(shù)據(jù)分析分析出制程監(jiān)控測(cè)試中量測(cè)的字線層厚度與實(shí)際字線層厚度之間的差值,讓字線層在形成時(shí),補(bǔ)償這一差值,使字線層的厚度達(dá)到所需要的要求,從而避免分柵快閃存儲(chǔ)器由于字線層厚度過薄而出現(xiàn)編程串?dāng)_失效。
聲明:
“分柵快閃存儲(chǔ)器及避免其編程串?dāng)_失效的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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