一種失效晶圓研磨裝置,包括:研磨臺,所述研磨臺具有研磨面,用于對失效晶圓的待研磨表面進行研磨;研磨液自動滴定單元,用于在所述研磨臺對失效晶圓的待研磨表面進行研磨時,向所述研磨臺的研磨面上均勻的滴入研磨液。本發(fā)明的所述失效晶圓研磨裝置包括研磨液自動滴定單元,所述研磨液自動滴定單元能在所述研磨臺對失效晶圓的待研磨表面進行研磨時,向所述研磨臺的研磨面上均勻的滴入研磨液,因而能準確的控制研磨液滴入的速率和滴入的量,避免人工滴入研磨液帶來的研磨液浪費,并能提高對失效晶圓的研磨均勻性,當失效晶圓的背面在研磨時需要按壓時,操作人員或檢測人員可以雙手對失效晶圓的背面進行按壓,提高對失效晶圓研磨的均勻性。
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