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檢測金屬線短路的測試結(jié)構(gòu)

985   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 09:00:01
本實用新型提供一種檢測金屬線短路的測試結(jié)構(gòu),包括第一梳齒結(jié)構(gòu)、第二梳齒結(jié)構(gòu)以及蛇形結(jié)構(gòu),所述第一梳齒結(jié)構(gòu)和第二梳齒結(jié)構(gòu)相對交錯設(shè)置,所述蛇形結(jié)構(gòu)位于第一梳齒結(jié)構(gòu)和第二梳齒結(jié)構(gòu)之間的間隙之中,測試結(jié)構(gòu)還包括:測試金屬線段,測試金屬線段位于所述第一梳齒結(jié)構(gòu)、第二梳齒結(jié)構(gòu)以及蛇形結(jié)構(gòu)的上方;金屬插塞,所述金屬插塞連接測試金屬線段和第一梳齒結(jié)構(gòu)、連接測試金屬線段和第二梳齒結(jié)構(gòu)以及連接測試金屬線段和蛇形結(jié)構(gòu)。本實用新型的檢測金屬線短路的測試結(jié)構(gòu)能發(fā)現(xiàn)頭對頭金屬線層連接缺陷,且在不破壞失效點的情況下能迅速定位,提高了測試效率和晶圓良率,節(jié)約人力成本。
聲明:
“檢測金屬線短路的測試結(jié)構(gòu)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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