公開了基于長(zhǎng)短期記憶網(wǎng)絡(luò)和滑動(dòng)窗口的晶圓測(cè)試檢測(cè)方法，方法中，測(cè)試頭執(zhí)行晶圓測(cè)試生成測(cè)試數(shù)據(jù)，所述測(cè)試數(shù)據(jù)輸入長(zhǎng)短期記憶網(wǎng)絡(luò)訓(xùn)練且生成測(cè)試時(shí)間序列及其時(shí)序特征；基于所述測(cè)試時(shí)間序列確定窗口長(zhǎng)度k以及定義窗口長(zhǎng)度k的最近鄰窗口，將測(cè)試時(shí)間序列輸入訓(xùn)練后的長(zhǎng)短期記憶網(wǎng)絡(luò)得到預(yù)測(cè)值d′n+1，將預(yù)測(cè)值d′n+1與真實(shí)測(cè)量值比較得到差值，當(dāng)差值超過單步閾值a判斷單步失效，增加系統(tǒng)異常評(píng)分且將所述預(yù)測(cè)值d′n+1更新測(cè)試時(shí)間序列進(jìn)行下一步檢測(cè)，直到所述系統(tǒng)異常評(píng)分超過系統(tǒng)異常閾值x時(shí)判斷測(cè)試環(huán)境有誤；發(fā)出指令停止測(cè)試并報(bào)警，并將故障信息通過TCP/IP協(xié)議上傳。