本發(fā)明提供的一種檢測低壓阱區(qū)和高壓阱區(qū)混接的方法,包括:獲取電路版圖,所述電路版圖具有低壓阱區(qū)和高壓阱區(qū);判斷所述低壓阱區(qū)中是否具有器件;當(dāng)所述低壓阱區(qū)內(nèi)無器件時,檢測所述低壓阱區(qū)上的金屬互連線與所述高壓阱區(qū)上的金屬互連線之間是否存在電性連接,若同層的金屬互連線存在電性連接,則所述低壓阱區(qū)與所述高壓阱區(qū)混接。本發(fā)明中,當(dāng)?shù)蛪黑鍏^(qū)中具有器件時,可以直接通過電路檢查檢測低壓阱區(qū)與高壓阱區(qū)是否存在混接,低壓阱區(qū)中不具有器件時,通過判斷金屬互連線的連接將低壓阱區(qū)和高壓阱區(qū)之間連接錯誤檢測出來,避免流片失效風(fēng)險。
聲明:
“檢測低壓阱區(qū)和高壓阱區(qū)混接的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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