本實(shí)用新型涉及一種檢測(cè)裝置，屬于微型電子器件技術(shù)領(lǐng)域。該裝置包括：待測(cè)試金屬結(jié)構(gòu)部件；設(shè)置于所述待測(cè)試金屬結(jié)構(gòu)部件上的聲阻擋層；設(shè)置于所述聲阻擋層上的聲表面波傳感器，在對(duì)所述待測(cè)試金屬結(jié)構(gòu)部件進(jìn)行測(cè)試時(shí)，所述聲阻擋層使所述聲表面波傳感器產(chǎn)生的聲表面波作用于所述待測(cè)試金屬結(jié)構(gòu)部件的表面。該檢測(cè)裝置將聲表面波傳感器與待測(cè)試的金屬結(jié)構(gòu)件集成在一起，解決了采用粘結(jié)劑可能會(huì)發(fā)生開裂、崩落等現(xiàn)象，導(dǎo)致聲表面波傳感器的失效、損壞甚至脫落的技術(shù)問(wèn)題，同時(shí)，通過(guò)聲阻擋層使聲表面波傳感器產(chǎn)生的聲表面波作用于待測(cè)試金屬結(jié)構(gòu)部件的表面，而不在金屬結(jié)構(gòu)件內(nèi)部傳播，使得傳感器具有更高的品質(zhì)因數(shù)、諧振性能和測(cè)試靈敏度。