本發(fā)明提供了一種納米探針測試方法,用于對一樣品的目標(biāo)截面進行檢測,包括:提供所述樣品;在所述樣品上標(biāo)記出包含所述目標(biāo)截面的目標(biāo)區(qū)域,沿著所述目標(biāo)區(qū)域的邊界切割以得到待測部分,并使所述待測部分脫離所述樣品,所述目標(biāo)截面為所述待測部分沿豎直方向的某一截面;切割所述待測部分的側(cè)面以使所述目標(biāo)截面暴露;旋轉(zhuǎn)所述待測部分以使所述目標(biāo)截面朝上,并固定在一光片上;將所述光片及所述光片上的待測部分一起轉(zhuǎn)移至納米探針臺上后固定住所述光片,并利用納米探針對所述目標(biāo)截面進行測試。通過在樣品中將目標(biāo)截面切割出來,以便于利用納米探針直接測試所述目標(biāo)截面,得到準(zhǔn)確的電性數(shù)據(jù),從而便于進行精確的失效分析。
聲明:
“納米探針測試方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)